[소셜타임스=김기성 기자]

최근 일주일째 미세먼저 저감장치가 발동되는 등 한반도를 덮친 미세먼지로 인해 사회 전체가 비상이다. 개인은 호흡기 건강, 반도체나 디스플레이 사업장은 먼지 차단에 비상이 걸렸다.

미세먼지는 외부에만 있는 것이 아니라 실내에도 존재한다. 때문에 각 가정에서는 미세먼지를 발생시키는 생선을 가급적 굽지 않고, 진공청소기를 사용하기보다는 허공에 분무기로 물을 뿌린 후 닦아내는 방법을 동원하기도 한다.

제품을 생산하는 실내 작업장도 안심할 수 없다. 세밀한 공정이 필요한 반도체 분야에도 악영향을 끼칠 수 있다.

첨단업종인 반도체 기업은 평소에도 에어샤워 등 철저하게 외부 오염원을 차단하기 위해 노력한다. 특히 반도체 공정의 경우 작은 먼지 하나도 용납하지 않기 때문에 더 철저한 미세먼지 관리가 요구되고 있다.

업계에 따르면 반도체 업체들은 생산라인 작업자들의 에어샤워 시간을 늘리거나 외조기 필터 교체 주기를 단축하는 등 관리를 강화하고 있다.

특히 삼성전자는 반도체 생산 라인의 미세먼지 농도를 평소 PM0.1 수준으로 관리하고 있다.

반도체는 머리카락의 2,000분의 1크기인 ‘나노’ 단위의 공정을 거쳐 만들어진다. 공정이 미세한 만큼 아주 작은 먼지 하나에도 반도체 회로가 휘거나 끊어질 위험이 따른다. 농도가 진한 미세먼지가 연일 계속되는 요즘은, 이러한 먼지 관리가 더 철저해야 한다.

반도체 공장의 생산 라인을 둘러싸고 있는 방풍림은 외부에서 유입되는 먼지바람을 1차적으로 걸러주는 역할을 한다. 이후 건물 안으로 들어온 공기는 반도체 라인 전체의 공기 정화를 담당하는 ‘외조기’ 시스템을 거치게 된다. 마치 가정집의 공기청정기와 같이 ‘외조기’ 역시 여러 단계의 정화 필터를 통해 공기 중의 미세먼지를 걸러준다.

이렇게 걸러진 공기는 FAB이라고 불리는 반도체 생산설비로 유입되고, 이는 센서를 통해 데이터로 전환된다. 이 데이터로 실시간으로 미세먼지 농도 등 공기질을 모니터링할 수 있게 된다. 또한 FAB 내에서는 추가적인 먼지나 불순물이 발생하지 않도록 방진복을 착용하고 있다.

미세먼지는 입자의 크기에 따라 지름이 10㎛ 이하는 미세먼지(PM 10), 지름이 2.5㎛ 이하는 초미세먼지(PM 2.5)로 분류된다.

삼성전자 분석기술팀 나혁주씨는 “반도체 클린 룸은 미세먼지보다 100배 작은 크기의 입자가 제거된다고 보면 된다”고 말했다. 0.1 마이크로미터 기준으로 거의 제로 수준이라고 보면 된다는 설명이다.

나씨는 “실제로 외부에서 측정한 미세먼지의 입자 수가 많게는 80만 개 이상에 달했으나, 반면 같은 날 FAB 내부에서 측정한 미세먼지 입자 수는 크기에 상관없이 모두 0에 가까운 수치를 기록했다”고 밝혔다.

나씨는 “삼성전자 반도체 생산라인은 0.1 마이크로미터 이하의 먼지 만이 존재하는 ‘클래스 1’ 수준의 실내 청결도를 유지하고 있다”고 말했다.

미세먼지가 급증하면 ‘클래스 1’ 유지와 함께 ‘외조기’ 필터 교체 주기를 단축하고 작업자의 에어샤워 시간을 늘린다는 설명이다.